(1) Die zuständige Behörde kann auf Antrag des Betreibers abweichend von § 2 Abs. 2 Satz 1 für hochwertige Anwendungen in Oberflächenbehandlungsanlagen, insbesondere in der Reinigung von elektronischen Bauteilen, der Herstellung von Präzisionswerkstücken oder bei der Fertigung in der Mess- und Regeltechnik auch den Einsatz von leichtflüchtigen teilfluorierten Kohlenwasserstoffen in technisch reiner Form oder im Gemisch mit trans-1,2-Dichlorethen zulassen, soweit im Einzelfall schädliche Umwelteinwirkungen und Auswirkungen auf das Klima nicht zu erwarten sind und wenn nach dem Stand der Technik für diese Anwendungen keine anderen nicht teilfluorierten Lösemittel eingesetzt werden können.

(2) Die zuständige Behörde kann auf Antrag des Betreibers Ausnahmen von den Anforderungen des § 2 Abs. 2 Satz 4, der §§ 3 bis 5 sowie der §§ 10 bis 16 zulassen, soweit unter Berücksichtigung der besonderen Umstände des Einzelfalles einzelne Anforderungen der Verordnung nur mit unverhältnismäßig hohem Aufwand erfüllt werden können, schädliche Umwelteinwirkungen nicht zu erwarten sind und die Ausnahmen bei der Vorsorge gegen schädliche Umwelteinwirkungen sowie der Richtlinie 2010/75/EU nicht entgegenstehen.

(3) Die zuständige Behörde kann auf Antrag des Betreibers ferner in Übereinstimmung mit der Richtlinie 2010/75/EU eine Ausnahme erteilen von der Anforderung einer laufenden messtechnischen Überprüfung gemäß § 3 Abs. 1 Satz 1 Nr. 3, soweit in Verbindung mit der selbsttätigen Verriegelung auf andere Weise sichergestellt ist, dass die Entnahme des Behandlungsgutes aus dem Entnahmebereich erst erfolgen kann, wenn die Massenkonzentration an leichtflüchtigen halogenierten organischen Verbindungen in der Anlagenluft im Entnahmebereich 1 Gramm je Kubikmeter nicht mehr überschreitet.