Der Träger der geplanten nichtstaatlichen Hochschule trägt die Kosten des Verfahrens nach § 114a Absatz 1. Der Träger der nichtstaatlichen Hochschule beziehungsweise die nichtstaatliche Hochschule selbst trägt die Kosten der Verfahren nach § 114a Absatz 1 Sätze 2, 4 und 5.